經(jīng)常聽說離子束拋光機這種超精密加工設備，那么你知道這種技術(shù)的工作原理與主要特點嗎？跟著卓精藝小編來一起了解下。

離子束加工的基本原理

所謂離子束拋光，就是把惰性氣體氬、氮等放在真空瓶中，用高頻電磁振蕩或放電等方法對陰極電流加熱，使之電離成為正離子，再用5千至10萬伏高電壓對這些正離子加速，使它們具有一定的能量。利用電子透鏡聚焦，將它們聚焦成一細束，形成高能量密度離子流，在計算機的控制下轟擊放在真空室經(jīng)過精磨的工件表面，從其表面把工件物質(zhì)一個原子一個原子地濺射掉。

-離子束加工的基本原理-

可見，離子束加工的原理和電子束加工基本類似，也是在真空條件下，將離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過加速聚焦，使之撞擊到工件表面。用這種方法可對工件表面進行深度從100埃到10微米左右的精密加工。

離子束的加工裝置主要由包括離子源、真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)和電源等。

離子束加工的主要特點

離子束加工是目前比較高端的超精密加工技術(shù)，具有以下特點：

1、屬于原子級逐層去除加工，加工精度高。

2、非接觸式加工，不會產(chǎn)生應力和變形。

3、加工速度很快，能量使用率可高達90%。

4、加工過程可自動化。

5、在真空腔中進行，污染少，材料加工表面不氧化。

6、電子束加工需要一整套專用設備和真空系統(tǒng)，價格較貴。

-離子束拋光機-

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